文献
J-GLOBAL ID:200902153579436703
整理番号:93A0665683
ガラス基板上に蒸着させた金属膜の内部応力
Internal stresses in sputtered films on glass substrates.
著者 (1件):
AGAMY S A
(Alexandria Univ., Alexandria, EGY)
資料名:
Kerntechnik
(Kerntechnik)
巻:
58
号:
3
ページ:
188-190
発行年:
1993年06月
JST資料番号:
A0481A
ISSN:
0932-3902
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)