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文献
J-GLOBAL ID：200902153650925214
整理番号：93A0772731
Crystallization and decomposition of co-sputtered amorphous silicon-aluminum thin films.
KONNO T J
(Stanford Univ., CA, USA)
,
SINCLAIR R
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名：
Materials Chemistry and Physics
(Materials Chemistry and Physics)
巻： 35 号： 2 ページ： 99-113 発行年： 1993年09月
JST資料番号： E0934A ISSN： 0254-0584 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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