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文献
J-GLOBAL ID：200902153789226191
整理番号：02A0790588
室温においてパルスレーザ蒸着により堆積した酸化インジウムすず薄膜の特性に及ぼすレーザ照射の影響
Effect of laser irradiation on the properties of indium tin oxide films deposited at room temperature by pulsed laser deposition.
ADURODIJA F O
(Hyogo Prefectural Inst. Industrial Res., Kobe, JPN)
,
IZUMI H
(Hyogo Prefectural Inst. Industrial Res., Kobe, JPN)
,
ISHIHARA T
(Hyogo Prefectural Inst. Industrial Res., Kobe, JPN)
,
YOSHIOKA H
(Hyogo Prefectural Inst. Industrial Res., Kobe, JPN)
,
MOTOYAMA M
(Hyogo Prefectural Inst. Industrial Res., Kobe, JPN)
,
MURAI K
(Osaka National Res. Inst., Osaka, JPN)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 67 号： 2 ページ： 209-216 発行年： 2002年09月13日
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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