文献
J-GLOBAL ID:200902154085504630
整理番号:00A0309051
Preparation and characterization of some alumosiloxanes as single-source MOCVD precursors for aluminosilicate coatings.
著者 (6件):
ZEMSKOVA S M
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
,
HAYNES J A
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
,
BESMANN T M
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
,
HUNT R D
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
,
BEACH D B
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
,
GOLOVLEV V N
(Oak Ridge National Lab., TN, USA)
資料名:
Journal de Physique. 4. Proceedings
(Journal de Physique. 4. Proceedings)
巻:
10
号:
Pr2
ページ:
PR2.35-PR2.42
発行年:
2000年02月
JST資料番号:
A0743C
ISSN:
1155-4339
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
フランス (FRA)
言語:
英語 (EN)