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J-GLOBAL ID：200902154251365414 整理番号：00A0123506

直流反応性マグネトロンスパッタZnO膜の物理的性質に及ぼす基板温度の効果

Effect of substrate temperature on the physical properties of DC reactive magnetron sputtered ZnO films

著者 (3件)：

SUBRAMANYAM T K

(Sri Vendateswara Univ., Tirupati, IND)

NAIDU B S

(Sri Vendateswara Univ., Tirupati, IND)

UTHANNA S

(Sri Vendateswara Univ., Tirupati, IND)

資料名：

Optical Materials (Optical Materials)

巻： 13 号： 2 ページ： 239-247 発行年： 1999年11月
JST資料番号： W0468A ISSN： 0925-3467 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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