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文献
J-GLOBAL ID：200902154438160638
整理番号：97A0242984
散乱光の非偏光成分を用いる三次元プロフィル測定のための光学的非接触センサの開発
Development of optical noncontact sensor for measurement of three-dimensional profiles using depolarized components of scattered light.
MASHIMO K
(Gunma Prefectural Industrial Technol., Gunma, JPN)
,
NAKAMURA T
(Gunma Prefectural Industrial Technol., Gunma, JPN)
,
TANIMURA Y
(National Res. Lab. Metrology, Ibaraki, JPN)
資料名：
Optical Engineering
(Optical Engineering)
巻： 36 号： 1 ページ： 227-234 発行年： 1997年01月
JST資料番号： B0577B ISSN： 0091-3286 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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