文献
J-GLOBAL ID:200902154621733256
整理番号:99A0944134
二重平坦化Nb/AlOx/Nbプロセスを用いて150mm径ウエハ上に作製した低Tc超伝導回路
Low Tc Superconductive Circuits Fabricated on 150-mm-Diameter Wafers Using a Doubly Planarized Nb/AlOx/Nb Process.
著者 (4件):
BERGGREN K K
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
,
MACEDO E M
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
,
FELD D A
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
,
SAGE J P
(Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名:
IEEE Transactions on Applied Superconductivity
(IEEE Transactions on Applied Superconductivity)
巻:
9
号:
2,Pt.3
ページ:
3271-3274
発行年:
1999年06月
JST資料番号:
W0177A
ISSN:
1051-8223
CODEN:
ITASE9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)