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文献
J-GLOBAL ID：200902154622006749
整理番号：02A0625590
光硬化可能液体ポリマーを用いてインプリントされたパターンの均一性
Uniformity in Patterns Imprinted Using Photo-Curable Liquid Polymer.
HIROSHIMA H
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
,
INOUE S
(Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)
,
KASAHARA N
(Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)
,
TANIGUCHI J
(Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)
,
MIYAMOTO I
(Tokyo Univ. Sci., Chiba, JPN)
,
KOMURO M
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 41 号： 6B ページ： 4173-4177 発行年： 2002年06月30日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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