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文献
J-GLOBAL ID：200902154993685428
整理番号：99A0245542
非球面鏡を使ったリングフィールド極紫外線露光システム
Ring-Field Extreme Ultraviolet Exposure System Using Aspherical Mirrors.
MURAKAMI K
(Nikon Corp., Tokyo, JPN)
,
OSHINO T
(Nikon Corp., Tokyo, JPN)
,
KINOSHITA H
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
WATANABE T
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
NIIBE M
(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)
,
ITO M
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
OIZUMI H
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
YAMANASHI H
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37 号： 12B ページ： 6750-6755 発行年： 1998年12月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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