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文献
J-GLOBAL ID：200902155127225074
整理番号：01A0687215
シリコン用ゾル-ゲルTiO2反射防止膜の作製と特性評価
Preparation and characterization of sol-gel TiO2 antireflective coatings for silicon.
SAN VICENTE G
(Dep. Energias Renovables (CIEMAT), Madrid, ESP)
,
MORALES A
(Dep. Energias Renovables (CIEMAT), Madrid, ESP)
,
GUTIERREZ M T
(Dep. Energias Renovables (CIEMAT), Madrid, ESP)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 391 号： 1 ページ： 133-137 発行年： 2001年07月02日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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