文献
J-GLOBAL ID:200902155266571785
整理番号:97A0858482
SiC結晶の優先的なエッチング
Preferential etching of SiC crystals.
著者 (5件):
YAKIMOVA R
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
HYL<span style=text-decoration:overline>E ́</span>N A-L
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
TUOMINEN M
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
SYVAEJAERVI M
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
JANZ<span style=text-decoration:overline>E ́</span>N E
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
6
号:
10
ページ:
1456-1458
発行年:
1997年08月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)