文献
J-GLOBAL ID:200902155483354342
整理番号:93A0793239
膜厚測定用の簡単なプロフィルメータ
A simple profilometer for film thickness measurement.
著者 (2件):
WOOD J W
(South Dakota School of Mines and Technology, South Dakota)
,
REDIN R D
(South Dakota School of Mines and Technology, South Dakota)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
64
号:
8
ページ:
2405-2406
発行年:
1993年08月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)