文献
J-GLOBAL ID:200902155515411300
整理番号:93A0751538
結晶化された半絶縁性多結晶シリコン(SIPOS)膜の電気的特性
Electrical Properties of Crystallized Semi-Insulating Polycrystal Silicon(SIPOS) Films.
著者 (3件):
竹内祐司
(慶応大 理工)
,
桑野博
(慶応大 理工)
,
CHO W
(慶応大 理工)
資料名:
電子情報通信学会論文誌 C-2
(Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2)
巻:
76
号:
8
ページ:
545-552
発行年:
1993年08月
JST資料番号:
L0196A
ISSN:
0915-1907
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)