文献
J-GLOBAL ID:200902155733984665
整理番号:00A0221992
シランのRF放電における粒子成長に対する気体温度勾配,パルス放電変調及び水素希釈の効果
Effects of Gas Temperature Gradient, Pulse Discharge Modulation, and Hydrogen Dilution on Particle Growth in Silane RF Discharges.
著者 (4件):
SHIRATANI M
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
MAEDA S
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KOGA K
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
WATANABE Y
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
39
号:
1
ページ:
287-293
発行年:
2000年01月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)