文献
J-GLOBAL ID:200902155902787203
整理番号:01A0234010
(400)配向多結晶シリコン膜の輸送改良に関するその場水素プラズマ処理
In situ hydrogen plasma treatment for improved transport of (400) oriented polycrystalline silicon films.
著者 (6件):
SUEMATSU A
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
NAKAHATA K
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
RO K
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
KAMIYA T
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
FORTMANN C M
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
,
SHIMIZU I
(Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名:
Solar Energy Materials and Solar Cells
(Solar Energy Materials and Solar Cells)
巻:
66
号:
1/4
ページ:
313-320
発行年:
2001年02月
JST資料番号:
D0513C
ISSN:
0927-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)