文献
J-GLOBAL ID:200902156584987695
整理番号:94A0314046
6H炭化けい素への低接触抵抗Ohm接触
Low Contact Resistivity Ohmic Contacts to 6H-Silicon Carbide.
著者 (3件):
ALOK D
(North Carolina State Univ., NC)
,
BALIGA B J
(North Carolina State Univ., NC)
,
MCLARTY P K
(North Carolina State Univ., NC)
資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻:
1993
ページ:
691-694
発行年:
1993年
JST資料番号:
C0829B
ISSN:
0163-1918
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)