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文献
J-GLOBAL ID：200902156605922475
整理番号：02A0263401
LSIチップ欠陥の検査,監視,解析の新しい手段としてのレーザSQUID顕微鏡法 非破壊かつ非電気的接触技術
Superconductive Electronics. Laser-SQUID Microscopy as a Novel Tool for Inspection, Monitoring and Analysis of LSI-Chip-Defects: Nondestructive and Non-electrical-contact Technique.
NIKAWA K
(NEC Corp., Kawasaki-shi, JPN)
資料名：
IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers)
(IEICE Transactions on Electronics (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： E85-C 号： 3 ページ： 746-751 発行年： 2002年03月01日
JST資料番号： L1370A ISSN： 0916-8524 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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