文献
J-GLOBAL ID:200902156662206670
整理番号:98A0597502
表面をマイクロマシニングした静電型超音波トランスデューサ
Surface Micromachined Capacitive Ultrasonic Transducers.
著者 (5件):
LADABAUM I
(Stanford Univ., CA)
,
JIN X
(Stanford Univ., CA)
,
SOH H T
(Stanford Univ., CA)
,
ATALAR A
(Bilkent Univ., Ankara, TUR)
,
KHURI-YAKUB B T
(Stanford Univ., CA)
資料名:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻:
45
号:
3
ページ:
678-690
発行年:
1998年05月
JST資料番号:
H0369A
ISSN:
0885-3010
CODEN:
ITUCER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)