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文献
J-GLOBAL ID：200902156833251890
整理番号：93A0537270
InP単結晶中のZn及びCdドーパントのPIXEチャネリングを利用した不純物濃度及び位置の測定
PIXE channeling for concentration and location measurements of Zn- and Cd-dopants in InP single crystals.
VOGT J
(Univ. Leipzig, Leipzig, DEU)
,
KRAUSE H
(Univ. Leipzig, Leipzig, DEU)
,
FLAGMEYER R
(Univ. Leipzig, Leipzig, DEU)
,
OTTO G
(Univ. Leipzig, Leipzig, DEU)
,
LUX M
(Univ. Leipzig, Leipzig, DEU)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 75 号： 1/4 ページ： 360-363 発行年： 1993年04月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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