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文献
J-GLOBAL ID：200902156873327210
整理番号：97A1031511
超清浄スパッタリングプロセスと高密度磁気記録媒体
The Ultra Clean Sputtering Process and High Density Magnetic Recording Media.
TAKAHASHI M
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KIKUCHI A
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KAWAKITA S
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Magnetics
(IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 33 号： 5, Pt.1 ページ： 2938-2943 発行年： 1997年09月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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