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文献
J-GLOBAL ID：200902156961187119
整理番号：93A0491367
Scanning X-ray microprobe with Bragg-Fresnel multilayer lens.
CHEVALLIER P
(Univ. Paris-Sud, Orsay, FRA)
,
DHEZ P
(Univ. Paris-Sud, Orsay, FRA)
,
LEGRAND F
(Univ. Paris-Sud, Orsay, FRA)
,
ERKO A
(Inst. Microelectronics Technology, Russian Academy of Sciences(IMT), Mailbox, SUN)
,
VIDAL B
(Fac. Science St. Jerome, Marseille, FRA)
資料名：
Institute of Physics Conference Series
(Institute of Physics Conference Series)
号： 130 ページ： 617-620 発行年： 1993年
JST資料番号： E0403B ISSN： 0305-2346 CODEN： IPHSAC 資料種別： 会議録 (C)
発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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