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文献
J-GLOBAL ID：200902157012264753
整理番号：93A0953244
急速焼なまし処理したPb(Zr,Ti)O3スパッタ膜の電気性質と結晶学的性質
Electrical and Crystallographic Properties of Sputtered-Pb(Zr, Ti)O3 Films Treated by Rapid Thermal Annealing.
YAMAUCHI S
(Oki Electric Industry Co., Ltd., Tokyo)
,
TAMURA H
(Oki Electric Industry Co., Ltd., Tokyo)
,
YOSHIMARU M
(Oki Electric Industry Co., Ltd., Tokyo)
,
INO M
(Oki Electric Industry Co., Ltd., Tokyo)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 32 号： 9B ページ： 4118-4121 発行年： 1993年09月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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