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J-GLOBAL ID：200902157136171915 整理番号：01A0769634

ガス堆積法により調製したナノ結晶銅膜の機械的挙動及び熱安定性

Mechanical behavior and thermal stability of nanocrystalline copper film prepared by gas deposition method.

著者 (3件)：

KOBIYAMA M

(Ibaraki Univ., Ibaraki, JPN)

INAMI T

(Ibaraki Univ., Ibaraki, JPN)

OKUDA S

(Tsukuba Inst. Sci. and Technol., Ibaraki, JPN)

資料名：

Scripta Materialia (Scripta Materialia)

巻： 44 号： 8/9 ページ： 1547-1551 発行年： 2001年05月18日
JST資料番号： B0915A ISSN： 1359-6462 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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