文献
J-GLOBAL ID:200902157196226158
整理番号:93A0625309
500Torrまでの圧力でサイアロン上へのダイヤモンドの熱フィラメント化学蒸着
Hot-filament chemical vapour deposition of diamond on SiAlON at pressures up to 500Torr.
著者 (3件):
BRUNSTEINER R
(Technical Univ. Vienna, Vienna, AUT)
,
HAUBNER R
(Technical Univ. Vienna, Vienna, AUT)
,
LUX B
(Technical Univ. Vienna, Vienna, AUT)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
2
号:
9
ページ:
1263-1270
発行年:
1993年07月01日
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)