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文献
J-GLOBAL ID：200902157215367078
整理番号：99A0577426
純窒素高周波プラズマ中での付着性c-BN膜の合成
Synthesis of adhesive c-BN films in pure nitrogen radio-frequency plasma.
YAP Y K
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
AOYAMA T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KIDA S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
MORI Y
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SASAKI T
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 8 号： 2/5 ページ： 382-385 発行年： 1999年03月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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