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文献
J-GLOBAL ID：200902157326160839
整理番号：02A0504899
窒化アルミニウム薄膜を用いた箔状フレキシブル圧力センサ
A Foil Type Flexible Pressure Sensor Using Nitelide Aluminum Thin Film.
上野直広
(産業技術総合研)
,
秋山守人
(産業技術総合研)
,
池田喜一
(産業技術総合研)
,
立山博
(産業技術総合研)
資料名：
計測自動制御学会論文集
(Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 38 号： 5 ページ： 427-432 発行年： 2002年05月31日
JST資料番号： S0104A ISSN： 0453-4654 CODEN： KJSRA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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