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文献
J-GLOBAL ID：200902157361391002
整理番号：98A0550197
ArFエキシマレーザ誘起化学修飾法を使用したふっ化炭素樹脂表面での銅の領域選択核生成
Area-selective nucleation of copper on fluorocarbon-resin surface using ArF excimer laser-induced chemical modification.
OKOSHI M
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
MURAHARA M
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 72 号： 20 ページ： 2616-2618 発行年： 1998年05月18日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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