文献
J-GLOBAL ID:200902157406565120
整理番号:93A0856822
Report on the NIST Low Accelerating Voltage SEM Magnification Standard Interlaboratory Study.
著者 (4件):
POSTEK M T
(National Inst. Standards and Technology, MD)
,
VLADAR A E
(National Inst. Standards and Technology, MD)
,
JONES S
(National Inst. Standards and Technology, MD)
,
KEERY W J
(National Inst. Standards and Technology, MD)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
1926
ページ:
268-286
発行年:
1993年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)