文献
J-GLOBAL ID:200902157484801027
整理番号:93A0363588
IV族原子層エピタクシー
Group IV atomic layer epitaxy.
著者 (1件):
YODER M N
(Office of Naval Research, VA, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
225
号:
1/2
ページ:
145-149
発行年:
1993年03月25日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)