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文献
J-GLOBAL ID：200902157723665700
整理番号：93A0857941
アニールした重度ひ素打込みシリコンから得たエリプソメトリー測定の解釈
Interpretation of Ellipsometry Measurements Taken from Annealed Heavily Arsenic-Implanted Silicon.
AJURIA S A
(Motorola, Inc., Texas)
,
TOMPKINS H G
(Motorola, Inc., Arizona)
,
GROVE C L
(Motorola, Inc., Texas)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 140 号： 9 ページ： 2710-2714 発行年： 1993年09月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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