文献
J-GLOBAL ID:200902157856931950
整理番号:98A0625767
立方晶窒化ほう素薄膜の応力と歪の研究
Study on stress and strain of cubic boron nitride thin films.
著者 (4件):
ZHANG X
(Lanzhou Univ., Lanzhou, CHN)
,
YUE J
(Lanzhou Univ., Lanzhou, CHN)
,
CHEN G
(Beijing Polytechnic Univ., Beijing, CHN)
,
YAN H
(Beijing Polytechnic Univ., Beijing, CHN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
315
号:
1/2
ページ:
202-206
発行年:
1998年03月02日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)