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文献
J-GLOBAL ID：200902158022010934
整理番号：97A0390001
スパッタ法による酸化亜鉛薄膜形成時における酸素欠損の発生
Generation of Oxygen Vacancies in Zinc Oxide Films During Sputtering Process.
斎藤洋司
(成けい大 工)
,
門馬正
(成けい大 工)
,
榊原幹人
(成けい大 工)
資料名：
電子情報通信学会論文誌 C-2
(Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2)
巻： 80 号： 3 ページ： 115-116 発行年： 1997年03月
JST資料番号： L0196A ISSN： 0915-1907 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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