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文献
J-GLOBAL ID：200902158169949241
整理番号：02A0941349
非晶質Si3N4/ナノ結晶TiNナノ構造多層の熱応力硬化
Thermal stress hardening of a-Si3N4/nc-TiN nanostructured multilayers.
XU J
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
YU L
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
AZUMA Y
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
FUJIMOTO T
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
UMEHARA H
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
KOJIMA I
(National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 81 号： 22 ページ： 4139-4141 発行年： 2002年11月25日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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