文献
J-GLOBAL ID:200902158200574529
整理番号:97A0624517
強誘電体Pb(Zr,Ti)O3薄膜キャパシタのH2損傷 上部電極の触媒および吸着活性の役割
H2 damage of ferroelectric Pb(Zr,Ti)O3 thin-film capacitors-The role of catalytic and adsorptive activity of the top electrode.
著者 (4件):
SHIMAMOTO Y
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
KUSHIDA-ABDELGHAFAR K
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
MIKI H
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
,
FUJISAKI Y
(Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
70
号:
23
ページ:
3096-3097
発行年:
1997年06月09日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)