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文献
J-GLOBAL ID：200902158252021714
整理番号：96A0116578
偏光レーザ光散乱法を用いた高周波シランプラズマ中の微粒子の特性の同時その場測定
Simultaneous in situ measurements of properties of particulates in rf silane plasmas using a polarization-sensitive laser-light-scattering method.
SHIRATANI M
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
KAWASAKI H
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
FUKUZAWA T
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
YOSHIOKA T
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
UEDA Y
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
SINGH S
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
WATANABE Y
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 79 号： 1 ページ： 104-109 発行年： 1996年01月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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