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文献
J-GLOBAL ID：200902158461708859
整理番号：02A0526043
MEMS型マイクロポンプ 展望
MEMS-Micropumps: A Review.
NGUYEN N-T
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
,
HUANG X
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
,
CHUAN T K
(Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP)
資料名：
Journal of Fluids Engineering
(Journal of Fluids Engineering)
巻： 124 号： 2 ページ： 384-392 発行年： 2002年06月
JST資料番号： C0997A ISSN： 0098-2202 CODEN： JFEGA4 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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