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文献
J-GLOBAL ID：200902158508747815
整理番号：95A0800007
半導体欠陥の定量電子ビームテスタ(CL/EBIC/SDLTSシステム)
Quantitative electron-beam tester for defects in semiconductors (CL/EBIC/SDLTS system).
SEKIGUCHI T
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SUMINO K
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻： 66 号： 8 ページ： 4277-4282 発行年： 1995年08月
JST資料番号： D0517A ISSN： 0034-6748 CODEN： RSINAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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