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文献
J-GLOBAL ID：200902158543993993
整理番号：97A0692380
電子サイクロトロン共鳴プラズマに対するプラズマ有機金属化学蒸着した(SrxTi1-x)O3薄膜の性質の依存性
Dependence of the properties of (SrxTi1-x)O3 thin films deposited by plasma-enhanced metal-organic chemical vapor deposition on electron cyclotron resonance plasma.
LEE J S
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
SONG H W
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
JUN B-H
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
KWACK D H
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
YU B G
(Electronics and Telecommunications Res. Inst., Taejon, KOR)
,
JIANG Z-T
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
,
NO K
(Korea Advanced Inst. Sci. and Technol., Taejon, KOR)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 301 号： 1/2 ページ： 154-161 発行年： 1997年06月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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