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文献
J-GLOBAL ID：200902158611222585
整理番号：99A0667405
プラズマ支援エピタクシーによるZnO層の低温エピタキシャル成長
Low temperature epitaxial growth of ZnO layer by plasma-assisted epitaxy.
YAMAUCHI S
(Ibaraki Univ., Hitachi, JPN)
,
HANDA H
(Ibaraki Univ., Hitachi, JPN)
,
NAGAYAMA A
(Ibaraki Univ., Hitachi, JPN)
,
HARIU T
(Ibaraki Univ., Hitachi, JPN)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 345 号： 1 ページ： 12-17 発行年： 1999年05月07日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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