文献
J-GLOBAL ID:200902158618169183
整理番号:97A0669568
高周波マグネトロンスパッタ法で作製したアルミニウムドープ酸化亜鉛膜の構造と電気的,光学的特性
Structural, electrical and optical properties of aluminum doped zinc oxide films prepared by radio frequency magnetron sputtering.
著者 (3件):
KIM K H
(Gyeongsang National Univ., Chinju, KOR)
,
PARK K C
(Gyeongsang National Univ., Chinju, KOR)
,
MA D Y
(Gyeongsang National Univ., Chinju, KOR)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
81
号:
12
ページ:
7764-7772
発行年:
1997年06月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)