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文献
J-GLOBAL ID:200902158618169183   整理番号:97A0669568

高周波マグネトロンスパッタ法で作製したアルミニウムドープ酸化亜鉛膜の構造と電気的,光学的特性

Structural, electrical and optical properties of aluminum doped zinc oxide films prepared by radio frequency magnetron sputtering.
著者 (3件):
KIM K H
(Gyeongsang National Univ., Chinju, KOR)
PARK K C
(Gyeongsang National Univ., Chinju, KOR)
MA D Y
(Gyeongsang National Univ., Chinju, KOR)

資料名:
Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)

巻: 81  号: 12  ページ: 7764-7772  発行年: 1997年06月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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