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文献
J-GLOBAL ID：200902158696578952
整理番号：97A0875175
シリコンの中に作成したマイクロ放電デバイス
Microdischarge devices fabricated in silicon.
FRAME J W
(Univ. Illinois, Illinois)
,
WHEELER D J
(Univ. Illinois, Illinois)
,
DETEMPLE T A
(Univ. Illinois, Illinois)
,
EDEN J G
(Univ. Illinois, Illinois)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 71 号： 9 ページ： 1165-1167 発行年： 1997年09月01日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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