文献
J-GLOBAL ID:200902158778113591
整理番号:01A0620247
低圧におけるバイアス促進核形成法を利用した核形成の特性
Characteristics of Nucleation Using the Bias-Enhanced Nucleation Method at Low Pressure.
著者 (4件):
KUDO K
(Fukuoka Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
,
AOKI K
(Fukuoka Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
,
TOYOFUKU M
(Fukuoka Inst. Technol., Fukuoka, JPN)
,
OGI S
(Kitakyushu National Coll. Technol., Kitakyushu, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻:
40
号:
4A
ページ:
2511-2517
発行年:
2001年04月15日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)