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文献
J-GLOBAL ID：200902159014745948
整理番号：97A0400502
低エネルギーイオン蒸着過程における電荷効果
The charge effects in the low-energy ion depositing processes.
KIUCHI M
(Osaka National Res. Inst., Osaka, JPN)
,
TAKEUCHI T
(Nara Women’s Univ., Nara, JPN)
,
YAMAMOTO M
(Nara Women’s Univ., Nara, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 121 号： 1/4 ページ： 154-156 発行年： 1997年01月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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