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文献
J-GLOBAL ID：200902159215787843
整理番号：01A0366097
プラズマ増強化学蒸着SiN薄膜,ならびに熱蒸着SiO2/プラズマ蒸着SiN薄膜スタックを用いたシリコン太陽電池に関する表面パッシベーション
Surface passivation of silicon solar cells using plasma-enhanced chemical-vapour-deposited SiN films and thin thermal SiO2/plasma SiN stacks.
SCHMIDT J
(Australian National Univ., ACT, AUS)
,
KERR M
(Australian National Univ., ACT, AUS)
,
CUEVAS A
(Australian National Univ., ACT, AUS)
資料名：
Semiconductor Science and Technology
(Semiconductor Science and Technology)
巻： 16 号： 3 ページ： 164-170 発行年： 2001年03月
JST資料番号： E0503B ISSN： 0268-1242 CODEN： SSTEET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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