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文献
J-GLOBAL ID：200902159224312335
整理番号：95A0824920
真空マイクロエレクトロニクスの表面
Surface-science aspects of vacuum microelectronics.
SCHWOEBEL P R
(SRI International, California)
,
BRODIE I
(SRI International, California)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 13 号： 4 ページ： 1391-1410 発行年： 1995年07月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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