文献
J-GLOBAL ID:200902159233018709
整理番号:94A0313950
硬質金属二重象眼キャップを用いたULSI回路の配線用Cu及びAl合金
A Dual Damascene Hard Metal Capped Cu and Al-Alloy for Interconnect Wiring of ULSI Circuits.
著者 (4件):
DALAL H M
(IBM Microelectronics Division, NY)
,
JOSHI R V
(IBM Watson Research Center, NY)
,
RATHORE H S
(IBM Microelectronics Division, NY)
,
FILLIPI R
(IBM Microelectronics Division, NY)
資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻:
1993
ページ:
273-276
発行年:
1993年
JST資料番号:
C0829B
ISSN:
0163-1918
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)