文献
J-GLOBAL ID:200902159273340972
整理番号:93A0626641
アルミニウム/アルミナ多層薄膜の引張特性
Tensile Properties of Aluminum/Alumina Multi-Layered Thin Films.
著者 (2件):
MEARINI G T
(Case Western Reserve Univ., Ohio)
,
HOFFMAN R W
(Case Western Reserve Univ., Ohio)
資料名:
Journal of Electronic Materials
(Journal of Electronic Materials)
巻:
22
号:
6
ページ:
623-629
発行年:
1993年06月
JST資料番号:
D0277B
ISSN:
0361-5235
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)