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文献
J-GLOBAL ID：200902159276080084
整理番号：95A0371380
反応性スパッタしたTa2O5の急速熱処理薄膜
Rapid thermal processed thin films of reactively sputtered Ta2O5.
PIGNOLET A
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
RAO G M
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
,
KRUPANIDHI S B
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 258 号： 1/2 ページ： 230-235 発行年： 1995年03月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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