文献
J-GLOBAL ID:200902159599094092
整理番号:93A0430851
Li4SiO4,Li3PO4,Li2Oの純および混合ターゲットのrfマグネトロンスパッタリング
Radio-frequency magnetron sputtering of pure and mixed targets of Li4SiO4, Li3PO4, and Li2O.
著者 (3件):
DUDNEY N J
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
,
BATES J B
(Oak Ridge National Lab., Tennessee)
,
ROBERTSON J D
(Univ. Kentucky, Kentucky)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
11
号:
2
ページ:
377-389
発行年:
1993年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)