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文献
J-GLOBAL ID：200902159712341190
整理番号：97A0486763
遮蔽アークイオンめっき法によるダイヤモンド状炭素膜の調製
Preparation of diamond-like carbon thin films by shielded arc ion plating.
TAKI Y
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
KITAGAWA T
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TAKAI O
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Journal of Materials Science Letters
(Journal of Materials Science Letters)
巻： 16 号： 7 ページ： 553-556 発行年： 1997年04月01日
JST資料番号： D0919B ISSN： 0261-8028 CODEN： JMTSAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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